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        視覺尋邊機【wafer Pre-Aligner(OCR)】

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        視覺尋邊機【wafer Pre-Aligner(OCR)】

        Pre-aligner:中文名:視覺尋邊機,晶圓預定位系統視覺版、晶圓校準器,本設備實現高精度高效率的6-12寸晶圓Wafer的中心以及平邊(缺口)的預定位,服務于晶圓Wafer的傳送搬運需求。我們的視覺尋邊機,定中心的精度是0.1mm以內,定Notch精度是±0.35度,定Flat精度是±0.35度,適用于,透明,半透明,非透明的缺角,平邊,多邊形等晶圓片。

        主要特點:

        1.適用于半導體生產設備、檢測設備的晶圓位置預校準;

        2.非接觸式預定位晶圓;

        3.兼容SEMI標準 150~300mm晶圓&透明晶圓(中心無鏤空);

        4.兼容SEMI標準Notch/ Flat;

        5.兼容6-12寸透明晶圓,半透明晶圓,非透明晶圓(D款);

        6.可定中心及找Mark(Flat Edge/Notch)標志;

        7.增加了OCR讀碼功能,

        8.暫不支持中心有鏤空的晶圓;

        主要配置:

        ?PC視覺系統

        ?內置模塊化步進電機、驅動和脈沖發生器

        ?串口類型:USB串口

        ?模塊化設計



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