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        Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)

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        Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)

        Load Port:中文名:晶圓裝卸機、晶圓載入機,被安裝在EFEM* 前(設備前端模塊:Equipment Front End Module),用來作為wafer進出EFEM的窗口。

        Load Port被安裝在EFEM* 前(設備前端模塊:Equipment Front End Module),用來作為wafer進出EFEM的窗口;用于工具自動化的智能且靈活的工廠接口模塊; 支持卓越的可靠性和超凈性能;最大程度地實現交互操作性,無縫互換性和易于配置;與所有手動或通過AMHS車輛交付的符合SEMI要求的FOUP和自動前開式裝運箱(FOSB)兼容;在搬運過程中用來保持wafer的潔凈度。

         

        ?Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)的主要特點

        1.適用卡塞規格(Cassette Type): 8” Cassette & 12” 25 slot Wafer FOUP/FOSB SEMI E1.9 / M31;
        2.放置標準(Mounting): SEMI E63;
        3.開啟方式(Opener Type): SEMI E62 / Front open ;
        4.平臺高度標準(FOUP/FOSB Load Height): SEMI E1.5 / E63;
        5.內置凸出檢測;
        6.RFID自動識別;
        7.操作安全防護報警;
        8.封閉式作業環境;


        ?Load Port(晶圓裝卸機/晶圓載入機)的主要配置
        載臺移載單元;
        自動開蓋單元;
        RFID讀取單元;
        安全防護系統;
        運動控制系統;
        模塊化設計。


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