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        Review Station

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        Review Station

        此設備用于晶圓表面缺陷AOI檢測和分選,操作員僅需定時少量的復判即可。提高了Throuthput,避免人員接觸wafer,降低客戶TCO。


        主要功能:
        傳送功能定制(全檢抽檢定制,Port定位防呆,6寸8寸定位切換,Map功能實現,Pre Aligner功能的實現,notch和flat定位,宏觀檢的實現(光源人檢)及可操作性,插臂傳送穩定可靠性,宏觀微觀可Pass等等)

        6寸8寸Emap的功能實現:自動生成或修改Emap文件,精準定位, 1分25秒的晶圓全檢,能夠檢測臟污、劃痕、漏模等缺陷,取圖存圖復檢(硬盤容量大),圖片清晰,圖片返檢不影響機臺運行,可回溯不良Die人檢及定制,物鏡切換兼容大小die size等等


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