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        Wafer Transfer TS-1200

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        Wafer Transfer TS-1200

        全自動 Wafer 傳送,可用于 12 寸 wafer 進行整理、分并、 合并,半導體各生產設備的上料、下料,FOSB、FOUP 相互 交換等。

        主要特點

        1. 采用雙臂 Wafer 搬運機器人;

        2. 可采用 SEMI 標準 Load Port;

        3. 非接觸式 Pre Aligner;

        4.Wafer ID Reader(可選)

        5. 模塊化設計,可實現多工藝搭配使用;

        主要配置

        ·雙臂 Wafer 搬運機器人,非接觸 Pre Aligner,Wafer ID Reader,SEMI 標準 Load Port

        規格參數


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